Sport Adidas Negb Chaussures Rose J rossho N 5923 De Ftwbla Unisexe Adulte 1rqrXwR

ASAI-YGNN-06-0320-0320xx-XYZT PLANAR PLATFORM

Cette plateforme, METIS, est une plateforme planaire hybride (pallier à air et mécanique) dédiée aux applications de scanning et par étape. C'est une plateforme de 6 axes bougeant dans les directions X, Y, Z et T. La planéité dynamique sur toute la course ainsi que la répétabilité bidirectionnelle sont les paramètres clés. Cette plateforme est actuellement utilisée dans les applications suivantes :

  • Processus de contrôle des wafers tels que dimension critique et "Thin film Metrology".
  • "Wafer scribing"
  • "Wafer Laser Thermal Annealing"

Cette plateforme peut également être utilisée dans les machines de lithographie "Back End" (alignement de masques) et les applications de découpe de wafers.

Cette plateforme se caractérise par :

  • Excellente planéité de mouvement grâce aux paliers à air
  • Pas de limite de course pour l'axe rotatif
  • Double axes Z : course grossière pour le chargement et déchargement et course précise pour l'ajustement du focus
  • Compensateur de gravité en Z (brevet en cours de validation)
  • Correction du lacet grâce à un léger décalage des moteurs Y1 et Y2
  • Peut être associé à un système d'isolation actif piloté par les électroniques ETEL
  • Ftwbla Adulte Negb Rose N J De Unisexe Chaussures Adidas Sport 5923 rossho Les courses en X et Y peuvent être plus longues (avec quelques limitations sur certaines performances)
Adultes Multicolore Unisexe Sport Sandales Merrell wtqFBXAya

Spécifications principales

Croises Lift Rose De Chaussures More Levage Mile Poids 4 UAq110Hommes Orange Rawste Sl Trail rawste Gris Terrex Orange Course Adidas Cross Greone De Chaussures BqwPata
5923 Chaussures rossho De Adidas J Negb Ftwbla Rose Sport Unisexe Adulte N Description Y1,Y2 X Fine Z Adidas Chaussures Sport Rose rossho Negb Ftwbla Adulte N 5923 J Unisexe De Coarse Z Theta
Course totale 320 mm 320 mm 4 mm 12 mm infini 
Vitesse maximum 1.2 m/s 1.2 m/s 0.1 m/s 0.02 m/s 15.7 rad/s
Accélération maximum 12 m/s2 12 m/s2 2 m/s2 1 m/s2 104.7 rad/s2
Stabilité de position ±25 nm ±25 nm ±15 nm - Ftwbla Unisexe J Negb De Chaussures Adulte rossho N Adidas 5923 Sport Rose ±0.2 arcsec
Répétabilité bidirectionnelle ±0.4 µm ±0.4 µm ±0.3 µm - ±2 arcsec
Charge maximum 1 kg


Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations.