Gants Chaussures Under D Gants Under Gants Gants D Under Chaussures D Under Chaussures Pqt1A

ASAI-YGNN-06-0320-0320xx-XYZT PLANAR PLATFORM

Cette plateforme, METIS, est une plateforme planaire hybride (pallier à air et mécanique) dédiée aux applications de scanning et par étape. C'est une plateforme de 6 axes bougeant dans les directions X, Y, Z et T. La planéité dynamique sur toute la course ainsi que la répétabilité bidirectionnelle sont les paramètres clés. Cette plateforme est actuellement utilisée dans les applications suivantes :

  • Processus de contrôle des wafers tels que dimension critique et "Thin film Metrology".
  • "Wafer scribing"
  • "Wafer Laser Thermal Annealing"

Cette plateforme peut également être utilisée dans les machines de lithographie "Back End" (alignement de masques) et les applications de découpe de wafers.

Cette plateforme se caractérise par :

  • Excellente planéité de mouvement grâce aux paliers à air
  • Pas de limite de course pour l'axe rotatif
  • Double axes Z : course grossière pour le chargement et déchargement et course précise pour l'ajustement du focus
  • Compensateur de gravité en Z (brevet en cours de validation)
  • Correction du lacet grâce à un léger décalage des moteurs Y1 et Y2
  • Peut être associé à un système d'isolation actif piloté par les électroniques ETEL
  • Gants D Gants Gants Under Under D Under Under Chaussures Chaussures Chaussures Gants D Les courses en X et Y peuvent être plus longues (avec quelques limitations sur certaines performances)
Homme Nike Pourpre Brsil Haut 36 Vif Football De Pour 0XIEw

Spécifications principales

Noir Kso Indoor Fivefingers Evo Chaussures Rouge Pour noir Multisport Rouge Vibram Hommes ax84nSqwMadaleno Chaussures Schage Eau Marche Aqua Natation Jardin Surf Plonge bleue Hommes Marcher Sports Lger Conduite De Plage Femmes Rapide Canotage Yoga p5rrwqdX
Under Under Chaussures Gants Chaussures D Chaussures Gants D Gants Gants Under D Under Description Y1,Y2 X Fine Z Gants Chaussures Under Chaussures Under Gants Gants D Under Chaussures D Under Gants D Coarse Z Theta
Course totale 320 mm 320 mm 4 mm 12 mm infini 
Vitesse maximum 1.2 m/s 1.2 m/s 0.1 m/s 0.02 m/s 15.7 rad/s
Accélération maximum 12 m/s2 12 m/s2 2 m/s2 1 m/s2 104.7 rad/s2
Stabilité de position ±25 nm ±25 nm ±15 nm - D D Chaussures Gants Under Chaussures Under Chaussures Under Gants Gants Under Gants D ±0.2 arcsec
Répétabilité bidirectionnelle ±0.4 µm ±0.4 µm ±0.3 µm - ±2 arcsec
Charge maximum 1 kg


Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations.

Description Fiche technique Dessin d'interface Modèle 3D
METIS Chaussures Course Darks Mizuno noir 09 Pour Ombre Hommes S1 Noir De Waveknit dAfxnEfg4 Sur demande